آزمایشگاه تحقیقاتی فیزیک لایه های نازک


آزمایشگاه تحقیقاتی فیزیک لایه های نازک

اين آزمايشگاه يك مركز تحقيقاتي جهت تهيه و تعيين مشخصه فيزيكي لايه هاي نازك است. در اين محل عمليات لايه نشاني به يكي از دو روش زير انجام مي شود:

۱) اسپاترينگ RF

۲) تبخير حرارتي در خلأ

دستگاه مورد نظر ساخت كمپاني VAS فرانسه و مجهز به تجهيزات جانبي مورد نياز مي باشد. عمليات خلأسازي در اين سيستم به وسيله يك پمپ Rotary و يك پمپ توربو انجام مي شود و امكان رسيدن به فشار Torr ۶-۱۰ در مدت ۱۵ دقيقه وجود دارد.

همچنين اين آزمايشگاه به زودي به يك سيستم لايه نشاني از نوع Spray pyrolysis نيز مجهز خواهد شد. در اين مركز برخي از پروژه هاي تحقيقاتي و نيز تعدادي از پروژه هاي مربوط به پايان نامه هاي دانشجويان تحصيلات تكميلي فيزيك قابل اجرا مي باشد.